1、研究内容
(1)低位错密度的AlN、高Al组分AlGaN核心结构材料的外延、掺杂技术和产业化技术研究;
(2)高光提取效率、高功率效率的深紫外LED器件工艺与光子调控技术研究;
(3)低热阻、高可靠性的深紫外LED器件先进封装技术研究;
2、关键技术指标
(1)270-280 nm 深紫外LED外量子效率>5%,L50寿命>20000 h。
1、研究内容
(1)低位错密度的AlN、高Al组分AlGaN核心结构材料的外延、掺杂技术和产业化技术研究;
(2)高光提取效率、高功率效率的深紫外LED器件工艺与光子调控技术研究;
(3)低热阻、高可靠性的深紫外LED器件先进封装技术研究;
2、关键技术指标
(1)270-280 nm 深紫外LED外量子效率>5%,L50寿命>20000 h。

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