基于MEMS的非制冷红外探测器广泛用于军用和民用领域,其中作为探测器核心部件的焦平面探测阵列的读出电路等关键技术至为重要,设计焦平面探测阵列的读出电路,要求能抑制MEMS工艺的波动,减小探测器环境温度的影响。
基于MEMS的非制冷红外探测器广泛用于军用和民用领域,其中作为探测器核心部件的焦平面探测阵列的读出电路等关键技术至为重要,设计焦平面探测阵列的读出电路,要求能抑制MEMS工艺的波动,减小探测器环境温度的影响。

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