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紫外光电探测器及其制备技术

紫外光电探测器及其制备技术

商城价: 面议

市场价:¥0

专利申请号:CN201910625116.7

专利分类: 通信电子航空类   通信设备

专利类型:发明专利

交易方式: 第三方委托

人气值 202

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    专利详情 最终专利状态以国家知识产权局当前状态为准

    本发明属于微纳制造相关技术领域,其公开了一种紫外光电探测器及其制备方法,该制备方法包括以下步骤:(1)采用光刻套刻工艺和蒸发镀膜工艺在带有氮化硅绝缘层的硅基底上制备电极层;(2)在电极层上制备紫外探测薄膜,所述紫外探测薄膜是Mn掺杂CsPbBr3xCl3(1‑x)紫外探测薄膜,其是通过在所述电极层上依次蒸镀PbCl2层、CsBr层、CsCl层和MnCl2层而形成的;其中,x为0.05~0.1;(3)采用滴涂方式在所述紫外探测薄膜上制备封装保护层,以将所述紫外探测薄膜进行封装,由此得到所述紫外光电探测器。

    交易流程 买卖双方直接交易,服务机构专业辅导,觅多多全程监督服务

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