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高速高精固晶设备

高速高精固晶设备

商城价： 面议

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专利申请号：

专利分类： 机械建筑设备类   设备磨具

专利类型：发明专利

交易方式： 第三方委托

人气值 204

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    专利详情 最终专利状态以国家知识产权局当前状态为准

    关键技术及创新点： 1）整体式设备结构。较通用型吊臂型结构主运动轴受力好，刚性高；物料工作台整体安装在设备本体上，受外界振动影响小，适合实现晶圆的精密键合。 2）创新晶圆台。材质稳定，刚性高，可以实现更快地响应速度。同时实现了360度旋转，便于生产过程中的防呆处理。 3）高推力直线电机驱动。加速度性能优异，响应速度快、精度高、速度高，随动性好。 4）多轴控制系统。高速高精空间插补及动态补偿技术；高次平滑前瞻的加减速运动特性；驱控一体技术，微妙级实时响应能力。 5）特殊的视觉识别与控制算法。

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    专利申请号：2020107381692

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