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CVD法镀膜设备及技术项目

CVD法镀膜设备及技术项目

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专利申请号：

专利分类： 机械建筑设备类   设备磨具

专利类型：发明专利

交易方式： 第三方委托

人气值 126

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    专利详情 最终专利状态以国家知识产权局当前状态为准

    本技术已达到工业化使用标准，适用于化学气相沉积法制备多类功能及结构薄膜，能为机械、微电子、光学、汽车、模具、电学及航空航天等领域提供需要的各类新型材料。适用范围广，安全性能高。本技术适用于在一维（1D)、二维（2D)及三维（3D)工件或基体上制备各种功能、结构薄膜。例如700mm*700mm*700mm大尺寸碳化硅类镀膜设备在我国尚无资料报道，本成果填补了该领域的技术空白，在市场竞争中具有据巨大优势，经济效益显著。

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    专利申请号：2020107381692

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