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高精度三轴加速度计产品工艺研发

高精度三轴加速度计产品工艺研发

商城价： 面议

市场价：￥0

专利申请号：

专利分类： 医药医疗化工类   生物医药

专利类型：发明专利

交易方式： 第三方委托

人气值 58

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    专利详情 最终专利状态以国家知识产权局当前状态为准

    针对产业界对MEMS 代工的迫切需求，微电子所科研人员以高精度三轴加速度 计开发为牵引展开攻关，致力于在现有8 英寸硅工艺线上实现与CMOS 工艺兼容的 通用MEMS 加工平台技术，成功开发出大深宽比MEMS 结构刻蚀、MEMS 与ASIC 晶圆 堆叠、TSV 电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产，最终实现了TSV 的ASIC 晶圆、MEMS 结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺，并顺利交付首款三轴加 速度计产品。

    交易流程 买卖双方直接交易，服务机构专业辅导，觅多多全程监督服务

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