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集成化高性能射频MEMS谐振器件

集成化高性能射频MEMS谐振器件

商城价： 面议

市场价：￥0

专利申请号：

专利分类： 医药医疗化工类   生物医药

专利类型：发明专利

交易方式： 第三方委托

人气值 56

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    专利详情 最终专利状态以国家知识产权局当前状态为准

    MEMS谐振器和振荡器在电子系统中提供时钟基准，可取代传统的石英晶体振荡器，具有微型化、集成化的优势。几乎所有的电子产品系统都需要时钟，有的需要多个时钟器件。本项目将在国内首次实现高性能MEMS谐振器、振荡器等射频谐振电子器件的产业化，可打破国外公司的技术垄断。半导体拥有高频率、高Q值MEMS谐振器件的设计、加工、封装、测试等整套技术，主要的关键技术包括：采用体模态谐振结构实现高谐振频率的输出，频率覆盖MHz到GHz，Q值达到10000。开发了高成品率的硅基谐振器件规模化制造技术和高可靠性的圆片级封测技术，制备高性能谐振器；利用高增益、低噪声的驱动电路和温度补偿电路构成高稳定性振荡器，短期稳定性达到±0.5 ppm，远载波相位噪声-128 dBc/Hz，可实现大规模制备与测试，大幅降低器件成本

    交易流程 买卖双方直接交易，服务机构专业辅导，觅多多全程监督服务

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