该项目是采用纳米级别的加工制造技术制作具备纳米级尺度并且带
有一定功能的光电子器件。纳米光电子器件的工作效率更快,能耗更低,
具备强大的信息储存量,且体积和重量明显的变小。随着光电器件在通
信、照明、传感器等领域上的运用,纳米光电器件的制备技术已经受到
越来越重要的关注。
该项目实现了一种低成本、大面积、易操作、高效的纳米结构制备
工艺方法,可实现在各种材料表面纳米结构(50-500nm 直径纳米孔、纳
米柱、纳米圆台等)的制备,可广泛应用于种光电器件。
该项目可以较大地提高器件的性能,市场前景广阔。该项目可以在
LED 芯片、激光器芯片、传感器等领域得到应用。如果得到大规模应用,
年增间接经济效益达10 亿元以上。