同济大学自主研发了高损伤阈值激光薄膜器件制作技术,阐明了电场诱导缺陷损伤的物理机制,提出了利用人工缺陷获得器件定量损伤规律的方法,发明了高功率激光薄膜器件全流程定量化制备新途径,发明了去除缺陷的定量化单元技术和抑制缺陷电场增强效应的控制技术,制备出神光III装置用Pick-off反射镜、机载激光测距装备用发射目镜等系列高损伤阈值激光薄膜器件,满足了激光惯性约束聚变和武器装备等多项国家需求。同济大学形成了集基板抛光和清洗、薄膜制备与检测等于一体的激光薄膜器件全流程定量化制备技术和装置,稳定、批量生产出系列高损伤阈值激光薄膜器件。